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KOSAKA小坂微細形狀測定機ET4000AK

KOSAKA小坂研究所營業(yè)項目:自動車光電半導體精密測定機器,表面粗度測定機,微細形狀測定,輪廓形狀測定機,真圓度測定/真圓度圓筒形狀測定機營業(yè)項目適應行業(yè):表面粗糙度測量機:使用鉆石或是激光光學測針、接觸(追蹤)加工件表面、測量出工件表面微細凹凸、并以定型或定量來分析粗糙度參數。微細形狀、臺階測量計:FPD基板、硅晶片、硬磐等表面微細形狀、臺階、粗糙度測量圓度、圓柱形狀測量機:測量發(fā)動機、缸體、

KOSAKA小坂研究所

營業(yè)項目:自動車光電半導體精密測定機器,表面粗度測定機,微細形狀測定,輪廓形狀測定機,真圓度測定/真圓度圓筒形狀測定機
營業(yè)項目適應行業(yè):
表面粗糙度測量機:使用鉆石或是激光光學測針、接觸(追蹤)加工件表面、測量出工件表面微細凹凸、并以定型或定量來分析粗糙度參數。
微細形狀、臺階測量計:FPD基板、硅晶片、硬磐等表面微細形狀、臺階、粗糙度測量圓度、圓柱形狀測量機:測量發(fā)動機、缸體、活塞、曲軸、軸承等,具有圓度圓柱度、球形、平面形狀的工件,評估圓度、圓柱度、直線度、同軸度等形狀精度輪廓測量機:以測針追蹤加工部件外形測量出輪廓,分析出輪廓各部位的角度,半徑、間隔、臺階、段差等等

ET4000A ET4000L ET4000M ET4000AK ET4300

產品介紹
株式會社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年創(chuàng)立的公司,也是日本 家發(fā)表光學干杠桿表面粗糙度計,是一家具有悠久歷史與技術背景的專業(yè)廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為 代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位。ET4000系列中,有ET4000A(多動能、自動化、可添加一款3D軟件,掃出測量表面的3D形貌) ,ET4000L(完全自動化的,針對體積較大的樣品可與大型精密貴重玻璃或晶片尺寸樣品) ,ET4000M(Y軸方向手動移動、性價比高、易于使用) ,常用的是ET4000A。ET4000系列具有良好的穩(wěn)定性、高精度和強大的功能。在平板顯示器FPD,晶片,硬盤和其他納米尺度上的應用廣泛。

主要特點:
(1) 的臺階再現性與線性度。
(2)超高真直度,可確保量測圖形不受任何影響,并可在真直度的保證下進行長距離測量。
(3)采用超低噪音直動式 LVDT,超低測定力的觸針可任意調節(jié)。
(4)配備高分辨率的 CCD 即時進行高精度定位測量。
(5)可對應各種國際規(guī)范,測定參數多達 60 多種。
(6)適用于各種與納米材料有關的MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學器件、薄膜/化學涂層以及平板顯示等。


日本小坂KOSAKA 臺階儀 | 微細形狀測定機ET4000系列特點

★ 高精度.安定性.機能性卓越適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細形狀、段差、粗度測定的機型。
★ 是多機能的全自動微細形狀測定機,針對用途及樣品尺寸有多種機型可供選擇。
★ ET4000A/ ET4000AK一可實現2D/3D表面形狀測量。
★ ET4000M一高性能的泛用微細形狀測定機。
★ ET4000L一對應大型工件的全自動微細形狀測定機。
★ ET4300一適合12″樣品測量。

日本小坂KOSAKA 臺階儀 | 微細形狀測定機ET4000系列產品參數

最大試片尺寸210×210mm~300×400mm
重現性1σ 0.5nm以內
測定范圍Z:100um X:100~305mm (Y移動量:150~400mm)
分解能Z:0.1nm X:0.1um
測定力0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)


塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司

ET4000A ET4000L ET4000M ET4000AK ET4300


技術參數
一、測定工件:
1. 最大工件尺寸 210 × 210 mm to 300 × 400 mm
2. 最大工件厚度 50mm
3. 最大工件重量 2kg
二、檢出器(pick up):
1. Z 方向測定范圍 Max. 100μm
2. Z 方向分解能 0.1nm
3. 測定力 0.5 μN to 500 μN
4. 觸針半徑 0.5 , 2 μm
5. 驅動方式 直動式
三、X 軸 (基準軸):
1. 移動量(最大測長) 100mm
2. 移動的真直度 0.005μm/5mm
3. 測定速度 0.005 ~ 2mm/S
4. 位置定位時速度 Max. 10mm/S
5. 線性尺(linar scale) 分解能 0.01μm
6. 位置定位再現性 ± 5μm
7. 滑軌 材質為在鑄鐵(CD-5)上,鍍上硬質 Cr,無潤滑(于移動臺側,使用鐵弗龍折動材料)
8. 驅動 DC motor + Dynamic belt
四、Y 軸(位置決定用):
1. 移動量 52mm
2. 移動速度 max.3mm/S
3. 滑軌 Crose roller 滑軌
4. 驅動 DC motor + 滾珠螺桿(P=2mm)
5. 檢出器自動停止機能
五、工件臺:
1. 工件臺尺寸 210mm×210mm
2. 自動傾斜量 X: ± 1mm/150mm Y: ± 1mm/186mm
3. 分解能 0.25μm
4. 驅動 pulse motor
六、全自動量測功能
七、工件觀察 max. 80倍(可選購其它高倍率 CCD)
八、床臺 材質為花崗巖石
九、段差測定再現性 1δ, 5A°以內
十、防振臺(選購) 落地型或桌上型
十一、電源 AC100V±10%,50/60HZ,800VA
十二、本體外觀尺寸 W660×D580×H660mm(不含防震臺)塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司