代理品牌：OTSUKA大塚電子（薄膜測厚儀、偏光片檢測、納米粒度分析儀、ZATA電位儀、相位差膜·光學材料檢查設備、液晶層間隙量測設備等）、SANKO三高、NPM日脈、東機產(chǎn)業(yè)（粘度計）、CCS（視檢查光源）、Aitec（視檢查光源）、REVOX萊寶克斯（視檢查光源）、EYE巖崎（UV汞燈）、SEN 日森、SERIC索萊克、各類日本光源 索尼克（風速計、流量計等）、坂口電熱（加熱器、制冷片）、NEWKON新光（針孔機）、NS精密科學（柱塞泵、高壓耐腐蝕防爆泵） 、SIBATA柴田科學、SAKURAI櫻井
優(yōu)勢品牌：AND艾安得、TOA-DKK東亞電波、JIKCO吉高、RKC理化工業(yè)、KYOWA共和、IIJIMA飯島電子、HORIBA堀場、EXCEL艾庫斯、HEIDON新東科學、USHIO牛尾、TOPCON拓普康、ORC歐阿西、SEKONIC日本世光、Tokyokoden東京光電、DSK電通、SAGADEN嵯峨電機、FUNATECH船越龍、HIKARIYA光屋、POLARION普拉瑞、HAYASHI林時計、MACOME碼控美、TML東京測器等等各日本品牌工業(yè)產(chǎn)品
ET4000A ET4000L ET4000M ET4000AK ET4300
產(chǎn)品概述：
● 高精度．安定性．機能性卓越適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細形狀、段差、粗度測定的機型。
● 是多機能的全自動微細形狀測定機，針對用途及樣品尺寸有多種機型可供選擇。
● ET4000A/ ET4000AK一可實現(xiàn)2D/3D表面形狀測量。
● ET4000M一高性能的泛用微細形狀測定機。
● ET4000L一對應大型工件的全自動微細形狀測定機。
● ET4300一適合12"樣品測量。
●各機型詳細參數(shù)請與區(qū)域銷售聯(lián)系。
日本小坂KOSAKA 臺階儀 | 微細形狀測定機ET4000系列產(chǎn)品參數(shù)
| 最大試片尺寸 | 210×210mm~300×400mm |
| 重現(xiàn)性 | 1σ 0.5nm以內(nèi) |
| 測定范圍 | Z:100um X:100～305mm (Y移動量:150~400mm) |
| 分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
| 測定力 | 0.5UN~500UN (0.05mg-50mg) |
ET4000A ET4000L ET4000M ET4000AK ET4300
技術參數(shù)
一、測定工件：
1. 最大工件尺寸 210 × 210 mm to 300 × 400 mm
2. 最大工件厚度 50mm
3. 最大工件重量 2kg
二、檢出器（pick up）：
1. Z 方向測定范圍 Max. 100μm
2. Z 方向分解能 0.1nm
3. 測定力 0.5 μN to 500 μN
4. 觸針半徑 0.5 , 2 μm
5. 驅(qū)動方式 直動式
三、X 軸 (基準軸)：
1. 移動量(最大測長) 100mm
2. 移動的真直度 0.005μm/5mm
3. 測定速度 0.005 ~ 2mm/S
4. 位置定位時速度 Max. 10mm/S
5. 線性尺(linar scale) 分解能 0.01μm
6. 位置定位再現(xiàn)性 ± 5μm
7. 滑軌 材質(zhì)為在鑄鐵(CD-5)上,鍍上硬質(zhì) Cr,無潤滑(于移動臺側(cè),使用鐵弗龍折動材料)
8. 驅(qū)動 DC motor + Dynamic belt
四、Y 軸(位置決定用)：
1. 移動量 52mm
2. 移動速度 max.3mm/S
3. 滑軌 Crose roller 滑軌
4. 驅(qū)動 DC motor + 滾珠螺桿(P=2mm)
5. 檢出器自動停止機能
五、工件臺：
1. 工件臺尺寸 210mm×210mm
2. 自動傾斜量 X: ± 1mm/150mm Y: ± 1mm/186mm
3. 分解能 0.25μm
4. 驅(qū)動 pulse motor
六、全自動量測功能
七、工件觀察 max. 80倍(可選購其它高倍率 CCD)
八、床臺 材質(zhì)為花崗巖石
九、段差測定再現(xiàn)性 1δ, 5A°以內(nèi)
十、防振臺(選購) 落地型或桌上型
十一、電源 AC100V±10%,50/60HZ,800VA
十二、本體外觀尺寸 W660×D580×H660mm(不含防震臺)
