ET4000A ET4000L ET4000M ET4000AK ET4300OSAKA小坂研究所營(yíng)業(yè)項(xiàng)目：自動(dòng)車(chē)光電半導(dǎo)體精密測(cè)定機(jī)器，表面粗度測(cè)定機(jī)，微細(xì)形狀測(cè)定，輪廓形狀測(cè)定機(jī)，真圓度測(cè)定/真圓度圓筒形狀測(cè)定機(jī)營(yíng)業(yè)項(xiàng)目適應(yīng)行業(yè)：表面粗糙度測(cè)量機(jī)：使用鉆石或是激光光學(xué)測(cè)針、接觸（追蹤）加工件表面、測(cè)量出工件表面微細(xì)凹凸、并以定型或定量來(lái)分析粗糙度參數(shù)。微細(xì)形狀、臺(tái)階測(cè)量計(jì)：FPD基板、硅晶片、
OSAKA小坂研究所
營(yíng)業(yè)項(xiàng)目：自動(dòng)車(chē)光電半導(dǎo)體精密測(cè)定機(jī)器，表面粗度測(cè)定機(jī)，微細(xì)形狀測(cè)定，輪廓形狀測(cè)定機(jī)，真圓度測(cè)定/真圓度圓筒形狀測(cè)定機(jī)
營(yíng)業(yè)項(xiàng)目適應(yīng)行業(yè)：
表面粗糙度測(cè)量機(jī)：使用鉆石或是激光光學(xué)測(cè)針、接觸（追蹤）加工件表面、測(cè)量出工件表面微細(xì)凹凸、并以定型或定量來(lái)分析粗糙度參數(shù)。
微細(xì)形狀、臺(tái)階測(cè)量計(jì)：FPD基板、硅晶片、硬磐等表面微細(xì)形狀、臺(tái)階、粗糙度測(cè)量圓度、圓柱形狀測(cè)量機(jī)：測(cè)量發(fā)動(dòng)機(jī)、缸體、活塞、曲軸、軸承等，具有圓度圓柱度、球形、平面形狀的工件，評(píng)估圓度、圓柱度、直線(xiàn)度、同軸度等形狀精度輪廓測(cè)量機(jī)：以測(cè)針追蹤加工部件外形測(cè)量出輪廓，分析出輪廓各部位的角度，半徑、間隔、臺(tái)階、段差等等
日本小坂KOSAKA 臺(tái)階儀 | 微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)ET4000系列特點(diǎn)
★ 高精度．安定性．機(jī)能性卓越適合于FPD基板·晶圓硬盤(pán)等的微細(xì)形狀、段差、粗度測(cè)定的機(jī)型。
★ 是多機(jī)能的全自動(dòng)微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)，針對(duì)用途及樣品尺寸有多種機(jī)型可供選擇。
★ ET4000A/ ET4000AK一可實(shí)現(xiàn)2D/3D表面形狀測(cè)量。
★ ET4000M一高性能的泛用微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)。
★ ET4000L一對(duì)應(yīng)大型工件的全自動(dòng)微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)。
★ ET4300一適合12″樣品測(cè)量。
日本小坂KOSAKA 臺(tái)階儀 | 微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)ET4000系列產(chǎn)品參數(shù)
| 最大試片尺寸 | 210×210mm~300×400mm |
| 重現(xiàn)性 | 1σ 0.5nm以?xún)?nèi) |
| 測(cè)定范圍 | Z:100um X:100～305mm (Y移動(dòng)量:150~400mm) |
| 分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
| 測(cè)定力 | 0.5UN~500UN (0.05mg-50mg) |
技術(shù)參數(shù)
一、測(cè)定工件：
1. 最大工件尺寸 210 × 210 mm to 300 × 400 mm
2. 最大工件厚度 50mm
3. 最大工件重量 2kg
二、檢出器（pick up）：
1. Z 方向測(cè)定范圍 Max. 100μm
2. Z 方向分解能 0.1nm
3. 測(cè)定力 0.5 μN(yùn) to 500 μN(yùn)
4. 觸針半徑 0.5 , 2 μm
5. 驅(qū)動(dòng)方式 直動(dòng)式
三、X 軸 (基準(zhǔn)軸)：
1. 移動(dòng)量(最大測(cè)長(zhǎng)) 100mm
2. 移動(dòng)的真直度 0.005μm/5mm
3. 測(cè)定速度 0.005 ~ 2mm/S
4. 位置定位時(shí)速度 Max. 10mm/S
5. 線(xiàn)性尺(linar scale) 分解能 0.01μm
6. 位置定位再現(xiàn)性 ± 5μm
7. 滑軌 材質(zhì)為在鑄鐵(CD-5)上,鍍上硬質(zhì) Cr,無(wú)潤(rùn)滑(于移動(dòng)臺(tái)側(cè),使用鐵弗龍折動(dòng)材料)
8. 驅(qū)動(dòng) DC motor + Dynamic belt
四、Y 軸(位置決定用)：
1. 移動(dòng)量 52mm
2. 移動(dòng)速度 max.3mm/S
3. 滑軌 Crose roller 滑軌
4. 驅(qū)動(dòng) DC motor + 滾珠螺桿(P=2mm)
5. 檢出器自動(dòng)停止機(jī)能
五、工件臺(tái)：
1. 工件臺(tái)尺寸 210mm×210mm
2. 自動(dòng)傾斜量 X: ± 1mm/150mm Y: ± 1mm/186mm
3. 分解能 0.25μm
4. 驅(qū)動(dòng) pulse motor
六、全自動(dòng)量測(cè)功能
七、工件觀(guān)察 max. 80倍(可選購(gòu)其它高倍率 CCD)
八、床臺(tái) 材質(zhì)為花崗巖石
九、段差測(cè)定再現(xiàn)性 1δ, 5A°以?xún)?nèi)
十、防振臺(tái)(選購(gòu)) 落地型或桌上型
十一、電源 AC100V±10%,50/60HZ,800VA
十二、本體外觀(guān)尺寸 W660×D580×H660mm(不含防震臺(tái))
