株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創(chuàng)立的公司，也是日本一家發(fā)表光學杠桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的業(yè)廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位
設(shè)備特點：
KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學器件、薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。ET200A 配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD 原位采集設(shè)計，可直接觀察到探針工作時的狀態(tài)，更方便準確的定位測試區(qū)域。
ET200A ET200A-D ET200A-3D
它是2D表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇，可實現(xiàn)高精度，高分辨率和出色的穩(wěn)定性，并且還支持測量力小的軟樣品表面。
- ET200A：表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇
- ET200A-D：配備電動Y軸單元
- ET200A-3D：<>D 表面粗糙度分析和階躍差測量的理想選擇
| 最大樣本量 | Φ160×厚度52毫米 |
|---|---|
| 再現(xiàn)性 | 1σ 0.3nm以內(nèi) |
| 測量范圍 | Z軸：600微米 X：100毫米 |
| 分辨率 | Z軸：0.1納米 X：0.1微米 |
| 測量力 | 10μN~500μN |
ET200A ET200A-D ET200A-3D
