KOSAKA ET200A-3D

設備特點：KOSAKA ET200A-3D 在ET200A 的基礎上，增加了Y 軸電動移動功能，以及3D 測量及解析功能?；赪indows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學器件、薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高精度表面形貌分析應用。ET200A-3D 能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數(shù)。ET200A-3D 配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD 原位采集設計，可直接觀察到探針工作時的狀態(tài)，更方便準確的定位測試區(qū)域。

它是2D表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇，可實現(xiàn)高精度，高分辨率和出色的穩(wěn)定性，并且還支持測量力小的軟樣品表面。

• ET200A：表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇
• ET200A-D：配備電動Y軸單元
• ET200A-3D：<>D 表面粗糙度分析和階躍差測量的理想選擇