株式會(huì)社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創(chuàng)立的公司，也是日本一家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計(jì)，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的業(yè)廠商,主要有測定/自動(dòng)/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位。
設(shè)備特點(diǎn)：
KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能精確可靠地測量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。ET200A 配備了各種型號(hào)探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD 原位采集設(shè)計(jì)，可直接觀察到探針工作時(shí)的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測試區(qū)域。
ET200A ET200A-D ET200A-3D
它是2D表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇，可實(shí)現(xiàn)高精度，高分辨率和出色的穩(wěn)定性，并且還支持測量力小的軟樣品表面。
| 最大樣本量 | Φ160×厚度52毫米 |
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| 再現(xiàn)性 | 1σ 0.3nm以內(nèi) |
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| 測量范圍 | Z軸：600微米 X：100毫米 |
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| 分辨率 | Z軸：0.1納米 X：0.1微米 |
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| 測量力 | 10μN(yùn)~500μN(yùn) |
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ET200A ET200A-D ET200A-3
規(guī)格
一、樣品臺(tái)：
1. 樣品臺(tái)尺寸：φ160mm
2. 大工件尺寸：φ200mm
3. 大工件厚度：52mm
4. 大工件重量：2kg
5. 傾斜調(diào)整范圍：±2°(±5mm/160mm)
6. 樣品臺(tái)材質(zhì)：黑色硬質(zhì)鋁
7. 手動(dòng)旋轉(zhuǎn)：360°(手動(dòng)粗調(diào))、±5°(微調(diào)，小約0.5°)
二、傳感器（pick up）：
1. 原理：直動(dòng)式傳感器 （業(yè)界唯一）
2. Z方向測定范圍：Max. 600μm
3. Z方向小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率時(shí))
4. 測定力： 10uN ~500uN
5. 觸針半徑：2 μm 60° 鉆石針頭 （另有多種可選）
6. 驅(qū)動(dòng)方式：直動(dòng)式
7. 再現(xiàn)性：1σ= 0.2nm (1um以下臺(tái)階時(shí))
三、X 軸 (基準(zhǔn)軸/測量軸)：
1. 移動(dòng)量(大測長)：100mm (±50mm)
2. 真直度：0.2μm/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)
3. 移動(dòng),測定速度：0.005~20mm/s
4. 線性尺(linar scale)：X方向分辨率 0.1μm
5. 位置重復(fù)誤差：±5um
四、Z軸：
1. 移動(dòng)量：54mm
2. 移動(dòng)速度：max.2.0mm/S
3. 檢出器自動(dòng)停止機(jī)能
五、Y軸：（手動(dòng)定位用）
1. 移動(dòng)量：25mm（±12.5mm）
六、工件觀察：
1. 彩色1/3”CCD，x4物鏡倍率
2. 綜合倍率：約320倍 (使用19” monitor時(shí))
3. 視野：1.2*0.9mm
4. 觀察方向：右側(cè)斜視
5. 照明：白色LED（可使用軟件調(diào)整明暗度）
七、軟件功能簡介：
1. 型號(hào)：i-STAR31
2. 可設(shè)定測量條件菜單、重復(fù)測量設(shè)定、解析菜單
3. 可設(shè)定下針座標(biāo)，實(shí)現(xiàn)定位后自動(dòng)測量及解析功能
4. 可設(shè)定低通濾波，過濾噪音及雜訊
5. 具有返回測量啟始點(diǎn)功能
6. 顯示倍率：垂直方向50~2,000,000倍、縱方向1~10,000倍
7. 解析功能：主要圖型、段差解析、粗糙度解析、內(nèi)應(yīng)力分析、內(nèi)建多種段差解析菜單可
選
八、床臺(tái)：一體花崗巖
九、防振臺(tái)(選購)：落地型或桌上型
十、電源：AC220V±10%，50/60HZ，300VA
十一、本體外觀尺寸及重量：
W500×D440×H610mm, 120kg，一體花崗巖低重心結(jié)構(gòu)
(不含防震臺(tái))
