株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創(chuàng)立的公司，也是日本一家發(fā)表光學杠桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術背景的業(yè)廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位。
設備特點：
KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學器件、薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高精度表面形貌分析應用。ET200A 能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數(shù)。ET200A 配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD 原位采集設計，可直接觀察到探針工作時的狀態(tài)，更方便準確的定位測試區(qū)域。
ET200A ET200A-D ET200A-3D
它是2D表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇，可實現(xiàn)高精度，高分辨率和出色的穩(wěn)定性，并且還支持測量力小的軟樣品表面。
- ET200A：表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇
- ET200A-D：配備電動Y軸單元
- ET200A-3D：<>D 表面粗糙度分析和階躍差測量的理想選擇
| 最大樣本量 | Φ160×厚度52毫米 |
|---|---|
| 再現(xiàn)性 | 1σ 0.3nm以內 |
| 測量范圍 | Z軸：600微米 X：100毫米 |
| 分辨率 | Z軸：0.1納米 X：0.1微米 |
| 測量力 | 10μN~500μN |
ET200A ET200A-D ET200A-3
規(guī)格
一、樣品臺：
1. 樣品臺尺寸：φ160mm
2. 大工件尺寸：φ200mm
3. 大工件厚度：52mm
4. 大工件重量：2kg
5. 傾斜調整范圍：±2°(±5mm/160mm)
6. 樣品臺材質：黑色硬質鋁
7. 手動旋轉：360°(手動粗調)、±5°(微調，小約0.5°)
二、傳感器（pick up）：
1. 原理：直動式傳感器 （業(yè)界唯一）
2. Z方向測定范圍：Max. 600μm
3. Z方向小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率時)
4. 測定力： 10uN ~500uN
5. 觸針半徑：2 μm 60° 鉆石針頭 （另有多種可選）
6. 驅動方式：直動式
7. 再現(xiàn)性：1σ= 0.2nm (1um以下臺階時)
三、X 軸 (基準軸/測量軸)：
1. 移動量(大測長)：100mm (±50mm)
2. 真直度：0.2μm/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)
3. 移動,測定速度：0.005~20mm/s
4. 線性尺(linar scale)：X方向分辨率 0.1μm
5. 位置重復誤差：±5um
四、Z軸：
1. 移動量：54mm
2. 移動速度：max.2.0mm/S
3. 檢出器自動停止機能
五、Y軸：（手動定位用）
1. 移動量：25mm（±12.5mm）
六、工件觀察：
1. 彩色1/3”CCD，x4物鏡倍率
2. 綜合倍率：約320倍 (使用19” monitor時)
3. 視野：1.2*0.9mm
4. 觀察方向：右側斜視
5. 照明：白色LED（可使用軟件調整明暗度）
七、軟件功能簡介：
1. 型號：i-STAR31
2. 可設定測量條件菜單、重復測量設定、解析菜單
3. 可設定下針座標，實現(xiàn)定位后自動測量及解析功能
4. 可設定低通濾波，過濾噪音及雜訊
5. 具有返回測量啟始點功能
6. 顯示倍率：垂直方向50~2,000,000倍、縱方向1~10,000倍
7. 解析功能：主要圖型、段差解析、粗糙度解析、內應力分析、內建多種段差解析菜單可
選
八、床臺：一體花崗巖
九、防振臺(選購)：落地型或桌上型
十、電源：AC220V±10%，50/60HZ，300VA
十一、本體外觀尺寸及重量：
W500×D440×H610mm, 120kg，一體花崗巖低重心結構
(不含防震臺)