日本HORIBA 一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀 Auto SE 塔瑪薩崎總代

代理品牌：OTSUKA大塚電子（薄膜測(cè)厚儀、偏光片檢測(cè)、納米粒度分析儀、ZATA電位儀、相位差膜·光學(xué)材料檢查設(shè)備、液晶層間隙量測(cè)設(shè)備等）、SANKO三高、NPM日脈、東機(jī)產(chǎn)業(yè)（粘度計(jì)）、CCS（視檢查光源）、Aitec（視檢查光源）、REVOX萊寶克斯（視檢查光源）、EYE巖崎（UV汞燈）、SEN 日森、SERIC索萊克、各類日本光源 索尼克（風(fēng)速計(jì)、流量計(jì)等）、坂口電熱（加熱器、制冷片）、NEWKON新光（針孔機(jī)）、NS精密科學(xué)（柱塞泵、高壓耐腐蝕防爆泵）   、SIBATA柴田科學(xué)、SAKURAI櫻井

優(yōu)勢(shì)品牌：AND艾安得、TOA-DKK東亞電波、JIKCO吉高、RKC理化工業(yè)、KYOWA共和、IIJIMA飯島電子、HORIBA堀場(chǎng)、EXCEL艾庫(kù)斯、HEIDON新東科學(xué)、USHIO牛尾、TOPCON拓普康、ORC歐阿西、SEKONIC日本世光、Tokyokoden東京光電、DSK電通、SAGADEN嵯峨電機(jī)、FUNATECH船越龍、HIKARIYA光屋、POLARION普拉瑞、HAYASHI林時(shí)計(jì)、MACOME碼控美、TML東京測(cè)器等等各日本品牌工業(yè)產(chǎn)品

一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀

Auto SE是一種新型薄膜測(cè)量工具。僅需簡(jiǎn)單的幾個(gè)按鈕，幾秒鐘內(nèi)即可自動(dòng)完成樣品測(cè)量和分析，并提供完整的薄膜特性分析報(bào)告，包括薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過率。

Auto SE全自動(dòng)化設(shè)計(jì)、一鍵式操作，功能齊全。配備自動(dòng)XYZ樣品臺(tái)進(jìn)行成像分析，自動(dòng)切換微光斑，多種附件可選，以滿足不同的應(yīng)用需求。

Auto SE借助完整的操作向?qū)В?span style="box-sizing: border-box; font-weight: bolder;">自動(dòng)檢測(cè)并診斷問題，對(duì)故障進(jìn)行處理，儀器維護(hù)簡(jiǎn)單

Auto SE是用于快速薄膜測(cè)量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。

• 全自動(dòng)流程，薄膜分析更容易

• 高性能系統(tǒng)

• 光斑可視化，微光斑可至25x60 μm

• 功能齊全和靈活

• 智能診斷

• 光譜范圍：440-1000nm

• 光斑尺寸：7個(gè)尺寸微光斑全自動(dòng)切換500x500 μm; 250x500 μm; 250x250 μm; 70x250 μm; 100x100 μm; 50x60 μm; 25x60 μm

• 探測(cè)系統(tǒng)：CCD，分辨率2nm

• 樣品臺(tái)：真空吸盤，Z軸行程40mm

• 光斑可視系統(tǒng)：CCD攝像機(jī)-視野1.33x1 mm-分辨率10μm

• 量角器：固定角70°，也可選擇66°或61.5°

• 多種附件可選

• 測(cè)試時(shí)間：<2s，常規(guī)為5s

• 準(zhǔn)確性：NIST 100nm d ± 4?, n(632.8nm) ± 0.002

• 重復(fù)性：NIST 15nm ± 0.2 ?