日本原裝進口UVISEL Plus In-Situ在線監(jiān)控橢偏儀塔瑪薩崎總代

代理品牌：OTSUKA大塚電子（薄膜測厚儀、偏光片檢測、納米粒度分析儀、ZATA電位儀、相位差膜·光學(xué)材料檢查設(shè)備、液晶層間隙量測設(shè)備等）、SANKO三高、NPM日脈、東機產(chǎn)業(yè)（粘度計）、CCS（視檢查光源）、Aitec（視檢查光源）、REVOX萊寶克斯（視檢查光源）、EYE巖崎（UV汞燈）、SEN 日森、SERIC索萊克、各類日本光源 索尼克（風(fēng)速計、流量計等）、坂口電熱（加熱器、制冷片）、NEWKON新光（針孔機）、NS精密科學(xué)（柱塞泵、高壓耐腐蝕防爆泵）   、SIBATA柴田科學(xué)、SAKURAI櫻井

優(yōu)勢品牌：AND艾安得、TOA-DKK東亞電波、JIKCO吉高、RKC理化工業(yè)、KYOWA共和、IIJIMA飯島電子、HORIBA堀場、EXCEL艾庫斯、HEIDON新東科學(xué)、USHIO牛尾、TOPCON拓普康、ORC歐阿西、SEKONIC日本世光、Tokyokoden東京光電、DSK電通、SAGADEN嵯峨電機、FUNATECH船越龍、HIKARIYA光屋、POLARION普拉瑞、HAYASHI林時計、MACOME碼控美、TML東京測器等等各日本品牌工業(yè)產(chǎn)品

UVISEL Plus在線監(jiān)控橢偏儀可以很容易的安裝在各類反應(yīng)腔（PECVD、MOCVD、磁控濺射、蒸鍍、ALD和MBE），實時監(jiān)控薄膜沉積或刻蝕過程。

UVISEL Plus在線橢偏儀結(jié)合了速度快、靈敏度高、動態(tài)范圍寬和準(zhǔn)確等優(yōu)點，使其能夠在原子層水平監(jiān)控沉積/刻蝕，即使過程速度比較快也可實現(xiàn)。

采用新型適配器組件可以實現(xiàn)臺式設(shè)備和在線系統(tǒng)的切換。

UVISEL Plus在線橢偏儀使用DeltaPsi2軟件驅(qū)動，該軟件適用于HORIBA所有橢偏儀。DeltaPsi2具有眾多先進的建模和擬合處理功能，操作界面簡單，可為研究者提供便捷的橢偏分析手段。先進的通訊協(xié)議，TCP/IP和RS232已被設(shè)計用于生產(chǎn)環(huán)境和OEM。

• 高速、準(zhǔn)確

• 完整集成了實時測量、建模和報告軟件包

• 便于在線和離線間切換

可獲得的信息

• 薄膜厚度

• 光學(xué)常數(shù)（n,k）

• 材料組成

• 光譜范圍：190-885 nm，可擴展至 190-2100 nm

• 光源：75W氙燈或150W氙燈

• 探測系統(tǒng)：單點或?qū)崟r光譜采集使用高靈敏度，寬動態(tài)范圍的PMT探測器和掃描單色儀，原位監(jiān)控薄膜沉積/蝕刻

• 光斑尺寸@300：50μm , 100μm & 1mm

• 機械適配器：CF35或KF40法蘭